壓電式加速度傳感器又稱壓電加速度計。它也屬于慣性式傳感器。它是利用某些物質如石英晶體的壓電效應,在加速度計受振時,質量塊加在壓電元件上的力也隨之變化。當被測振動頻率遠低于加速度計的固有頻率時,則力的變化與被測加速度成正比。
壓電式加速度傳感器是基于壓電晶體的壓電效應工作的。某些晶體在一定方向上受力變形時,其內部會產生極化現象,同時在它的兩個表面上產生符號相反的電荷;當外力去除后,又重新恢復到不帶電狀態,這種現象稱為“壓電效應",具有“壓電效應"的晶體稱為壓電晶體。常用的壓電晶體有石英、壓電陶瓷等。
常用的壓電式加速度計的結構形式如圖。S是彈簧,M是質量塊,B是基座,P是壓電元件,R是夾持環。圖a是中央安裝壓縮型,壓電元件—質量塊—彈簧系統裝在圓形中心支柱上,支柱與基座連接。這種結構有高的共振頻率。然而基座B與測試對象連接時,如果基座B有變形則將直接影響拾振器輸出。此外,測試對象和環境溫度變化將影響壓電元件,并使預緊力發生變化, 易引起溫度漂移。圖c為三角剪切形,壓電元件由夾持環將其夾牢在三角形中心柱上。加速度計感受軸向振動時,壓電元件承 受切應力。這種結構對底座變形和溫度變化有*好的隔離作用,有較高的共振頻率和良好的線性。圖b為環形剪切型,結構簡單,能做成極小型、高共振頻率的加速度計,環形質量塊粘到裝在中心支柱上的環形壓電元件上。由于粘結劑會隨溫度增高而變軟,因此最高工作溫度受到限制。
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